2020版 薄膜作製応用ハンドブック

発刊日：2020年2月

定　価：本体69,000円＋税

頁　数：1570頁

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サンプル　第１編 1-1　薄膜材料の特性と特徴　薄膜とは（9.7MB）

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第１編　薄膜材料の特性と特徴

第２編　薄膜の作製と加工

第３編　薄膜・表面・界面の分析・評価

第４編　薄膜技術の応用と展望